超精密加工的機(jī)理研究：包括微細(xì)加工機(jī)理研究；微觀表面完整性研究；在超精密范疇內(nèi)的對(duì)各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過(guò)程、現(xiàn)象、性能以及工藝參數(shù)進(jìn)行提示性研究1。超精密加工的設(shè)備制造技術(shù)研究：如納米級(jí)超精密車床工程化研究；超精密磨床研究；關(guān)鍵基礎(chǔ)件，像軸系、導(dǎo)軌副、數(shù)控伺服系統(tǒng)、微位移裝置等研究；超精密機(jī)床總成制造技術(shù)研究1。超精密加工工具及刃磨技術(shù)研究：例如金剛石刀具及刃磨技術(shù)、金剛石微粉砂輪及其修整技術(shù)研究1。超精密測(cè)量技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)研究：包含納米級(jí)基準(zhǔn)與傳遞系統(tǒng)建立；納米級(jí)測(cè)量?jī)x器研究；空間誤差補(bǔ)償技術(shù)研究；測(cè)量集成技術(shù)研究1超精密加工技術(shù)能輔助的產(chǎn)業(yè)很廣，機(jī)械、汽車、半導(dǎo)體，只要想提升產(chǎn)品的精致度，就需仰賴精密加工的輔助。芯片超精密半導(dǎo)體元件

超精密加工為了提升工藝的精細(xì)度，超精密加工會(huì)使用到高精度位置感測(cè)器(displacementsensor)、高階CNC(computernumericalcontrol)控制器等進(jìn)階設(shè)備。由于精度高的緣故，常應(yīng)用在光學(xué)元件，如：雷射干涉系統(tǒng)、光碟機(jī)的讀取透鏡、影印機(jī)與印表機(jī)用的fq鏡面、數(shù)位相機(jī)或手機(jī)相機(jī)的光學(xué)鏡頭等；也會(huì)應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)如：電腦硬碟、光纖固定與連接裝置、高精度射出或模造用模具…等。此外，航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學(xué)儀器等也會(huì)運(yùn)用超精密加工的技術(shù)。芯片超精密半導(dǎo)體元件超精密加工常見的有CNC車床、研磨加工、放電及線切割加工等，由于大部分都由程式輸入數(shù)據(jù)后加工。

精密磨削技術(shù)-電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)對(duì)于精密零件的加工生產(chǎn)，精密磨削技術(shù)是必不可少的。在半導(dǎo)體/LCD、MLCC和新能源電池等領(lǐng)域中，精密元件的使用率很高。常見的磨削技術(shù)的問(wèn)題是，必須根據(jù)磨削后的弓形磨損量繼續(xù)修整，這給保持同等質(zhì)量帶來(lái)了困難，因?yàn)楸砻鏍顩r會(huì)發(fā)生細(xì)微變化。簡(jiǎn)而言之，ELID磨削技術(shù)是一種在不斷修整的同時(shí)進(jìn)行拋光的技術(shù)。微泰采用了高精度的磨削技術(shù)，這些技術(shù)都以ELID技術(shù)和專有技術(shù)為基礎(chǔ)，在這種技術(shù)中，我們生產(chǎn)的產(chǎn)品具有高精度、平坦度和高質(zhì)量，這是很難生產(chǎn)的。真空板ELID磨削技術(shù)ELID磨削技術(shù)（真空板）。利用電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，減少研磨時(shí)的毛刺，減少手動(dòng)調(diào)節(jié)提高作業(yè)自動(dòng)化。400mm見方的真空板平面度可達(dá)5um。

超精密加工是指在微米級(jí)或納米級(jí)尺度上進(jìn)行的加工技術(shù)，它能夠制造出具有極高精度和表面質(zhì)量的零件。這種加工技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件、**器械、航空航天等領(lǐng)域。超精密加工技術(shù)包括超精密車削、磨削、銑削、拋光等工藝，這些工藝要求使用高精度的機(jī)床設(shè)備、高質(zhì)量的刀具材料以及精細(xì)的加工參數(shù)控制。隨著科技的進(jìn)步，超精密加工技術(shù)正向著更高的精度、更復(fù)雜的形狀和更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展。超精密技術(shù)是指在制造和測(cè)量過(guò)程中達(dá)到極高的精度和精確度。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密工程、航空航天、**設(shè)備等領(lǐng)域。超精密加工技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級(jí)別的加工精度，而超精密測(cè)量技術(shù)則能夠檢測(cè)出極微小的尺寸變化和形狀誤差。隨著科技的發(fā)展，超精密技術(shù)在提高產(chǎn)品質(zhì)量、性能和可靠性方面發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。激光超精密加工具有切割縫細(xì)小的特點(diǎn)。激光切割的割縫一般在0.1-0.2mm。

20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度極高的一種加工技術(shù)。到80年代初，其加工尺寸精度已可達(dá)10納米（1納米=0.001微米）級(jí)，表面粗糙度達(dá)1納米，加工的小尺寸達(dá) 1微米，正在向納米級(jí)加工尺寸精度的目標(biāo)前進(jìn)。納米級(jí)的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。20 世紀(jì) 50 年代至 80 年代為技術(shù)開創(chuàng)期。20 世紀(jì) 50 年代末，出于航天等技術(shù)發(fā)展的需要，美國(guó)率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工，慢慢擴(kuò)展到小尺寸、高精度的領(lǐng)域。芯片超精密半導(dǎo)體元件

激光超精密加工可分為四類應(yīng)用，分別是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面處理。芯片超精密半導(dǎo)體元件

精密加工技術(shù)能輔助的產(chǎn)業(yè)很廣，舉凡機(jī)械、汽車、半導(dǎo)體、航太等，只要想提升產(chǎn)品的精致度與品質(zhì)，就需仰賴精密加工的輔助，其精細(xì)的品質(zhì)，能大幅提升許多高科技工業(yè)的「設(shè)計(jì)」與「技術(shù)」，進(jìn)而提升產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。像與我們長(zhǎng)期合作的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，也因?yàn)閾碛辛司?xì)的零件，所以能大量生產(chǎn)出品質(zhì)優(yōu)良的晶圓。到底精密加工是什么呢？與一般加工方式有何差異？除了高規(guī)格工業(yè)外還能應(yīng)用在哪呢？精密加工定義是什么？與粗加工哪里不同？芯片超精密半導(dǎo)體元件