超精密加工主要包括三個領域：超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削，可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工，線寬可達0.1?m。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工，線寬可達2～5nm。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03?m，表面粗糙度為Ra0.03～0.005?m)和納米級(精度誤差為0.03?m，表面粗糙度小于 Ra0.005?m)精度的加工。實現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。加之測量技術、環(huán)境保障和材料等問題，人們把這種技術總稱為超精工程。激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質量的影響因素少，加工精度高。超快激光超精密無氧銅真空卡盤

(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體，都是用超精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺是形狀復雜的高精度零件，是用超精密數(shù)控銑床加工的。(3)超精密光學零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達0.05μm，表面粉糙度Rα達0.001μm、它是由超精密拋研加工、再進行鍍膜而成，要求反射率達99.99%?！└呔让闇氏到y(tǒng)要求小型化，所以用少量非球面鏡來代替復雜的光學系統(tǒng)。這些非球鏡是用超精密車、磨、研、拋加工而成的。近期，二元光學器件的理論研究進展很大，二元光學器件的制造設備是專門的超精密加工設備。在民用方面，**眼鏡就是用超精密數(shù)控車床加工而成的。計算機的硬盤、光盤、復印機等高技術產品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。代工超精密機器人零件超精密激光加工是先進的加工技術，它利用高效激光對材料進行雕刻和切割，主要的設備包括電腦和激光切割機。

精密零件的加工生產離不開精密切削技術，半導體/LCD、MLCC、二次電池等領域尤其使用精密零件。一般磨削技術的問題是，磨削后要根據(jù)葉輪磨損量繼續(xù)進行修整，修整后葉輪表面會發(fā)生細微變化，因此很難保持相同的質量。相反，ELID研磨技術可以解決這些問題，因為無需研磨即可連續(xù)工作。微泰的ELID（在線砂輪修正）技術和經驗為基礎，實現(xiàn)高精度的切削加工技術，由此生產的產品具有一般難以生產的高精度平坦度和質量。提高真空板（VACUUM板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，減少研磨時的Burr，無需手動調整可以連續(xù)穩(wěn)定作業(yè)。刀片可以做到，材料：碳化鎢、氧化鋯等。刀片厚度（t1）：100?葉片。邊緣厚度（t2）：低于0.2?。刀刃線性度：低于5?。刀刃對稱性：低于3?。刀片邊緣粗糙度：Ra0.02?。角度（θ）精度：±0.3°

飛秒激光技術在超精密加工領域的應用，如微機械加工、微電子制造等，其重點在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力，實現(xiàn)對材料的精細加工。超精密加工技術是指加工精度達到亞微米甚至納米級別的制造技術，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些技術廣泛應用于光學元件、航空航天、精密模具、半導體和**器械等領域，能夠滿足高精度、高表面質量的產品需求。超精密鉆孔技術是一種高精度加工方法，能夠實現(xiàn)微米級甚至亞微米級的加工精度。該技術廣泛應用于電子、光學、精密儀器等領域，主要用于加工微型孔、異形孔等復雜結構。其加工設備通常包括數(shù)控機床、激光鉆孔系統(tǒng)等，并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質量。改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應用。

超精密加工技術是指加工精度達到亞微米級甚至納米級的制造技術，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些方法能夠實現(xiàn)對硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學元件、微型機械、生物**器件等領域。常見的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進行加工，能夠實現(xiàn)對非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學加工：通過電解作用去除材料，適用于加工微細、復雜結構的零件。超精密加工技術的發(fā)展對提高我國制造業(yè)的國際競爭力具有重要意義。超精密激光可以高效實現(xiàn)微米級尺寸、特殊形狀、超精度的加工，材料表面無熔化痕跡，邊緣光滑無飛濺物。韓國加工超精密精密噴嘴

激光超精密加工的切割面光滑：激光切割的切割面無毛刺。超快激光超精密無氧銅真空卡盤

通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025?m，加工變質層很小，表面質量高。精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規(guī)、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min，濕研速度為20 - 120m/min），對加工環(huán)境要求嚴格，如有大磨料或異物混入時，將使表面產生很難去除的劃傷。拋光是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現(xiàn)對工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05?m，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工。超快激光超精密無氧銅真空卡盤