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|列兵
能譜分析儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
各種元素具有自己的X射線特征波長,特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E,能譜分析儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
探頭:一般為Si(Li)鋰硅半導(dǎo)體探頭
探測面積:幾平方毫米
分辨率(MnKa):~133eV
探測元素范圍:Be4~U92
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