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氣敏傳感器種基于聲表面波器件波速和頻率隨外界環(huán)境變化而發(fā)生漂移原理制作而成種新型傳感器
工作原理:聲表面波器件之波速和頻率會隨外界環(huán)境變化而發(fā)生漂移氣敏傳感器利用種性能壓電晶體表面涂覆層選擇性吸附某氣體氣敏薄膜當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用(化學作用或生物作用或者物理吸附)使得氣敏薄膜膜層質量和導電率發(fā)生變化時引起壓電晶體聲表面波頻率發(fā)生漂移;氣體濃度同膜層質量和導電率變化程度亦同即引起聲表面波頻率變化也同通過測量聲表面波頻率變化準確反應氣體濃度變化
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