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最早的濕度檢測法是達(dá)芬奇用羊毛或人頭發(fā)制成的毛發(fā)濕度計(jì)。這種機(jī)械式濕度檢測儀曾在測濕歷史上發(fā)揮重大作用。但是隨著電子技術(shù)的發(fā)展, 人們開始對電子濕度傳感器進(jìn)行研究。1939年, 頓蒙利用材料的電氣特性研制出世界上第一個(gè)濕度傳感器頓蒙濕度傳感器是利用電解質(zhì)例如制成的。根據(jù)電阻值的變化可以檢測相對濕度。但是, 這種傳感器的檢測范圍太小, 要想測量較寬的濕度變化必須使用多個(gè)特性不同的傳感器。同時(shí)進(jìn)入測濕市場的還有利用聚合物薄膜或碳膜吸濕膨脹原理制作的濕度傳感器。然而, 這些傳感器都不能批量生產(chǎn), 因?yàn)樗鼈兊闹谱鬟^程需要大量的人工技巧后來, 人們又開始研究如何用半導(dǎo)體制造濕度傳感器, 于是研制出若干種以陶瓷金屬氧化物為主要材料的濕度傳感器。測試了用含金屬氧化物的厚膜硅或膠體涂印的傳感器。此外, 還通過減小膠體電阻的辦法提高響應(yīng)速度。陶瓷濕度傳感器會(huì)由于吸水、界面捕獲現(xiàn)象和環(huán)境中, 分子等因素而使性能變壞。為防止這種情況, 又研制出能耐受定時(shí)加熱清洗的傳感器元件。后來,又由于維護(hù)困難, 而引入了非加熱型傳感器。通過特定的化學(xué)處理和老化處理可抑制特性的變化