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最早的濕度檢測(cè)法是達(dá)芬奇用羊毛或人頭發(fā)制成的毛發(fā)濕度計(jì)。這種機(jī)械式濕度檢測(cè)儀曾在測(cè)濕歷史上發(fā)揮重大作用。但是隨著電子技術(shù)的發(fā)展, 人們開始對(duì)電子濕度傳感器進(jìn)行研究。1939年, 頓蒙利用材料的電氣特性研制出世界上第一個(gè)濕度傳感器頓蒙濕度傳感器是利用電解質(zhì)例如制成的。根據(jù)電阻值的變化可以檢測(cè)相對(duì)濕度。但是, 這種傳感器的檢測(cè)范圍太小, 要想測(cè)量較寬的濕度變化必須使用多個(gè)特性不同的傳感器。同時(shí)進(jìn)入測(cè)濕市場(chǎng)的還有利用聚合物薄膜或碳膜吸濕膨脹原理制作的濕度傳感器。然而, 這些傳感器都不能批量生產(chǎn), 因?yàn)樗鼈兊闹谱鬟^程需要大量的人工技巧后來, 人們又開始研究如何用半導(dǎo)體制造濕度傳感器, 于是研制出若干種以陶瓷金屬氧化物為主要材料的濕度傳感器。測(cè)試了用含金屬氧化物的厚膜硅或膠體涂印的傳感器。此外, 還通過減小膠體電阻的辦法提高響應(yīng)速度。陶瓷濕度傳感器會(huì)由于吸水、界面捕獲現(xiàn)象和環(huán)境中, 分子等因素而使性能變壞。為防止這種情況, 又研制出能耐受定時(shí)加熱清洗的傳感器元件。后來,又由于維護(hù)困難, 而引入了非加熱型傳感器。通過特定的化學(xué)處理和老化處理可抑制特性的變化