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目前半導(dǎo)體氣體傳感器研究動(dòng)態(tài)及其發(fā)展方向——?dú)怏w傳感器向低功耗、多功能、集成化方向發(fā)展
國(guó)外氣體傳感器發(fā)展快方面由于人們安全意識(shí)增強(qiáng)對(duì)環(huán)境安全性和生活舒適性要求提高；另方面由于傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)受政府安全法規(guī)推動(dòng)因此國(guó)外氣體傳感器技術(shù)得了較快發(fā)展據(jù)有關(guān)統(tǒng)計(jì)預(yù)測(cè)美國(guó)1996年—2002年氣體傳感器年均增長(zhǎng)率（27～30）％
目前氣體傳感器發(fā)展趨勢(shì)集表現(xiàn)：提高靈敏度和工作性能降低功耗和成本縮小尺寸簡(jiǎn)化電路與應(yīng)用整機(jī)相結(jié)合也氣體傳感器直追求目標(biāo)日本費(fèi)加羅公司推出了檢測(cè)（0?1～10）×10－6硫化氫低功耗氣體傳感器美國(guó)IST提供了壽命達(dá)10年上氣體傳感器美國(guó)FirstAlert公司推出了生物模擬型（光化反應(yīng)型）低功耗CO氣體傳感器等二增強(qiáng)靠性實(shí)現(xiàn)元件和應(yīng)用電路集成化多功能化發(fā)展MEMS技術(shù)發(fā)展現(xiàn)場(chǎng)適用變送器和智能型傳感器美國(guó)GeneralMonitors公司傳感器嵌入微處理器使氣體傳感器具有控制校準(zhǔn)和監(jiān)視故障狀況功能實(shí)現(xiàn)了智能化；還有前已涉及美國(guó)IST公司具有微處理器MegaGas傳感器實(shí)現(xiàn)了智能化、多功能化
2國(guó)內(nèi)現(xiàn)狀與差距
氣敏元件傳感器作新型敏感元件傳感器國(guó)家列重點(diǎn)支持發(fā)展情況下國(guó)內(nèi)已有定基礎(chǔ)其現(xiàn)狀：
（1）燒結(jié)型氣敏元件仍生產(chǎn)主流占總量90％上；接觸燃繞式氣敏元件已具備了生產(chǎn)基礎(chǔ)和能力；電化學(xué)氣體傳感器有了試制產(chǎn)品;
（2）工藝方面引入了表面摻雜、表面覆膜及制作表面催化反應(yīng)層和修隔離層等工藝使燒結(jié)型元件由廣譜性氣敏發(fā)展成選擇性氣敏；結(jié)構(gòu)方面研制了補(bǔ)償復(fù)合結(jié)構(gòu)、組合差動(dòng)結(jié)構(gòu)及集成化陣列結(jié)構(gòu)；氣敏材料方面SnO2和Fe2O3材料已用于批量生產(chǎn)氣敏元件新研究開發(fā)Al2O3氣敏材料、石英晶體和有機(jī)半導(dǎo)體等也開始用于氣敏材料;
（3）低功耗氣敏元件（氧化碳甲烷等氣敏元件）已從產(chǎn)品研究進(jìn)入試;
（4）國(guó)內(nèi)氣敏元件傳感器產(chǎn)量已超過九五初期400萬支產(chǎn)量超過20萬支主要廠家有5家黑龍江敏感集團(tuán)、太原電子廠、云南春光器材廠、天津費(fèi)加羅公司（合資）、北京電子管廠（特種電器廠）其前四家都超過100萬支據(jù)行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)1998年全國(guó)氣敏元件總產(chǎn)量已超過600萬支
總看來我國(guó)氣敏元件傳感器及其應(yīng)用技術(shù)有了較快進(jìn)展與國(guó)外先進(jìn)水平仍有較大差距主要產(chǎn)品制造技術(shù)、產(chǎn)業(yè)化及應(yīng)用等方面差距與日本比較仍要落10年