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三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) (Coordinate Measuring Machine, CMM) 是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長(zhǎng)度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱(chēng)為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x或三次元。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)　　以下來(lái)源于中國(guó)儀器超市（ www.cimart.com.cn）的資料：三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x有不同的操作需求、測(cè)量范圍和測(cè)量精度，這些對(duì)選用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是很重要的。各種類(lèi)型的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)外形敘述如下：1. 移動(dòng)橋架型 (Moving bridge type)　　移動(dòng)橋架型，為最常用的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)， 軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿水平梁在 方向移動(dòng)，此水平梁垂直 軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架”，橋架沿著兩個(gè)在水平面上垂直 和 軸的導(dǎo)槽在 軸方向移動(dòng)。因?yàn)榱旱膬啥吮恢е?，所以可得到最小的撓度，且比懸臂型有較高的精度。2. 床式橋架型 (Bridge bed type)　　床式橋架型， 軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直 軸的梁而移動(dòng)，而梁沿著兩水平導(dǎo)軌在 軸方向移動(dòng)，導(dǎo)軌位于支柱的上表面，而支柱固定在機(jī)械本體上。此型與移動(dòng)橋架型一樣，梁的兩端被支撐，因此梁的撓度為最少。此型比懸臂型的精度好，因?yàn)橹挥辛涸?軸方向移動(dòng)，所以慣性比全部橋架移動(dòng)時(shí)為小，手動(dòng)操作時(shí)比移動(dòng)橋架型較容易。3. 柱式橋架型 (Gantry type)　　柱式橋架型，與床式橋架型式比較時(shí)，柱式橋架型其架是直接固定在地板上又稱(chēng)為門(mén)型，比床式橋架型有較大且更好的剛性，大部分用在較大型的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x上。各軸都以馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，測(cè)量范圍很大，操作者可以在橋架內(nèi)工作。4. 固定橋架型 (Fixed bridge type)　　固定橋架型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直 軸的水平橫梁上做 方向移動(dòng)。橋架 ( 支柱 ) 被固定在機(jī)器本體上，測(cè)量臺(tái)沿著水平平面的導(dǎo)軌作 軸方向的移動(dòng)，且垂直于 和 軸。每軸皆由馬達(dá)來(lái)驅(qū)動(dòng)，可確保位置精度，此機(jī)型不適合手動(dòng)操作。5. L 形橋架型 (L-Shpaed bridge type)　　L 形橋架型，這個(gè)設(shè)計(jì)乃是為了使橋架在 軸移動(dòng)時(shí)有最小的慣性而作的改變。它與移動(dòng)橋架型相比較，移動(dòng)組件的慣性較少，因此操作較容易，但剛性較差。6. 軸移動(dòng)懸臂型 (Fixed table cantilever arm type)　　 軸移動(dòng)懸臂型， 軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直 軸的水平懸臂梁在 軸方向移動(dòng)，懸臂梁沿著在水平面的導(dǎo)槽在 軸方向移動(dòng)，且垂直于 軸和 軸。此型為三邊開(kāi)放，容易裝拆工件，且工件可以伸出臺(tái)面即可容納較大工件，但因懸臂會(huì)造成精度不高。此型早期很盛行，現(xiàn)在已不普遍。7. 單支柱移動(dòng)型 (Moving table cantilever arm type)　　單支柱移動(dòng)型， 軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，支柱整體沿著水平面的導(dǎo)槽在 軸上移動(dòng)，且垂直 軸，而 軸連接于支柱上。測(cè)量臺(tái)沿著水平面的導(dǎo)槽在 軸上移動(dòng)，且垂直 軸和 軸。此型測(cè)量臺(tái)面、支柱等具很好的剛性，因此變形少，且各軸的線性刻度尺與測(cè)量軸較接近，以符合阿貝定理。8. 單支柱 測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型 (Single column xy table type)　　單支柱 測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型， 軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，支柱上附有 軸導(dǎo)槽，支柱被固定在測(cè)量?jī)x本體上。測(cè)量時(shí)，測(cè)量臺(tái)在水平面上沿著 軸和 軸方向作移動(dòng)。9. 水平臂測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型 (Moving table horizontal arm type)　　水平臂測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型，廂形架支撐水平臂沿著垂直的支柱在垂直 ( 軸 ) 的方向移動(dòng)。探頭裝在水平方向的懸臂上，支柱沿著水平面的導(dǎo)槽在 軸方向移動(dòng)，且垂直 軸，測(cè)量臺(tái)沿著水平面的導(dǎo)槽在 軸方向移動(dòng)，且垂直于 軸和 軸。這是水平懸臂型的改良設(shè)計(jì)，為了消除水平臂在 軸方向，因伸出或縮回所產(chǎn)生的撓度。10. 水平臂測(cè)量臺(tái)固定型 (Fixed table horizontal arm type)　　水平臂測(cè)量臺(tái)固定型，其構(gòu)造與測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型相似。此型測(cè)量臺(tái)固定， 、 軸均在導(dǎo)槽內(nèi)移動(dòng)，測(cè)量時(shí)支柱在 軸的導(dǎo)槽移動(dòng)，而 軸滑動(dòng)臺(tái)面在垂直軸方向移動(dòng)。11. 水平臂移動(dòng)型 (Moving ram horizotal arm type)　　水平臂移動(dòng)型， 軸懸臂在水平方向移動(dòng)，支撐水平臂的廂形架沿著支柱在 軸方向移動(dòng)，而支柱垂直 軸。支柱沿著水平面的導(dǎo)槽在 軸方向移動(dòng)，且垂直 軸和 軸，故不適合高精度的測(cè)量。除非水平臂在伸出或回收時(shí)，對(duì)因重量而造成的誤差有所補(bǔ)償。目前應(yīng)用在車(chē)輛檢驗(yàn)工作。12. 閉環(huán)橋架型 (Ring bridge type)　　閉環(huán)橋架型，由于它的驅(qū)動(dòng)方式在工作臺(tái)中心，可減少因橋架移動(dòng)所造成沖擊，為所有三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x中最穩(wěn)定的一種。名 稱(chēng)： 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 測(cè)量范圍(mm)X： 600 測(cè)量范圍(mm)Y： 500 測(cè)量范圍(mm)Z： 400 探測(cè)系統(tǒng)： MH20i(接觸式）玻璃工作臺(tái)、頂、底光源、從CCD、NIKON5X物鏡 分辨率： 0.1μm 示值誤差（μm）： 2.5+L/300（光學(xué)式）1.6+L/300（接觸式） 探測(cè)誤差（μm）： 2.0 NCF系列測(cè)量機(jī)設(shè)計(jì)封閉框架結(jié)構(gòu),工作臺(tái)移動(dòng)組成，特有的技術(shù)。其先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)確保了系統(tǒng)整體的高精度及高穩(wěn)定性，并將接觸式測(cè)頭、光學(xué)式測(cè)頭及激光掃描測(cè)頭等多種測(cè)頭模式集為一體，以確保完成幾乎所有的測(cè)量任務(wù)。先進(jìn)的高精度CCD成像技術(shù)與先進(jìn)的圖像處理技術(shù)完美結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)特殊的測(cè)量要求具有計(jì)算機(jī)編程控制光學(xué)照明（頂光、底光和環(huán)形光）技術(shù)，是工件表面照明均勻，提高了測(cè)量的高精度和可靠性。三軸在機(jī)械上相互獨(dú)立，運(yùn)動(dòng)互不干擾，從而確保了系統(tǒng)的高穩(wěn)定性。 Y軸運(yùn)動(dòng)采用中央驅(qū)動(dòng)，避免了Y向運(yùn)動(dòng)中的偏擺研潤(rùn)企業(yè)生產(chǎn)，提高了Y軸的運(yùn)動(dòng)精度三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力，鋼性好、動(dòng)態(tài)幾何誤差變形最小。三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。光柵的布置接近被測(cè)工件，遵循了阿貝誤研潤(rùn)企業(yè)生產(chǎn)差原理，減小了系統(tǒng)誤差。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用進(jìn)口高性能直流伺服電機(jī)、進(jìn)口摩擦桿傳動(dòng)裝置，確保傳動(dòng)更快捷、更精準(zhǔn)、運(yùn)動(dòng)性能更佳。 Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性利用坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)、計(jì)算機(jī)測(cè)控技術(shù)及最先進(jìn)的動(dòng)態(tài)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行工件表面點(diǎn)的采集和數(shù)據(jù)處理?？墒褂秒p旋轉(zhuǎn)測(cè)頭系統(tǒng)及不同側(cè)干、測(cè)頭的組合，配合各種通用或?qū)Ｓ脺y(cè)量軟件，方便實(shí)現(xiàn)對(duì)三維工件的測(cè)量。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)采集快，操作簡(jiǎn)便，使該機(jī)非常經(jīng)濟(jì)適用。ML系列測(cè)量機(jī)設(shè)計(jì)采用鋼性好、質(zhì)量輕的單邊高架移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，為大中型測(cè)量機(jī)首選的機(jī)械設(shè)計(jì)形式，其顯著提高了Y軸導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度并降低了移動(dòng)橋框架的重量，提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，大幅降低了Y軸運(yùn)動(dòng)中的橫梁角擺現(xiàn)象，確保了系統(tǒng)的精度及穩(wěn)定性。運(yùn)用單邊高架技術(shù)提高了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)剛性及穩(wěn)定性。具有承載能力強(qiáng)、裝卸空間寬闊、便捷。三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而研潤(rùn)企業(yè)生產(chǎn)具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力，剛性好、動(dòng)態(tài)幾何誤差變形最小。采用Y軸導(dǎo)軌上移技術(shù)，降低了橫梁的重量，顯著提高了系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)性能。三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用進(jìn)口高性能直流伺服電機(jī)、進(jìn)口摩擦桿傳動(dòng)裝置，確保傳動(dòng)研潤(rùn)企業(yè)生產(chǎn)更快捷、更精準(zhǔn)、運(yùn)動(dòng)性能更佳。 Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。控制系統(tǒng)采用德國(guó)高集成度SB-06、SB-08專(zhuān)用數(shù)控系統(tǒng)，從而大大的提高系統(tǒng)的性能、可靠性和抗干擾能力。軟件采用具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、功能強(qiáng)大的AUTOMET測(cè)量軟件包，其完善的測(cè)量功能和聯(lián)機(jī)功能，為用戶(hù)提供了完美的測(cè)量解決方案。