中源綠凈為半導(dǎo)體芯片封裝潔凈室開發(fā)的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電協(xié)同監(jiān)測能力。應(yīng)用場景：芯片封裝測試潔凈車間。依據(jù) JEDEC J-STD-033 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級封裝區(qū)部署每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±5V）及空氣流速（0.3~0.5m/s）。采用非接觸式靜電傳感器與激光粒子計(jì)數(shù)器組合方案，響應(yīng)時(shí)間均≤0.5 秒。系統(tǒng)具備與鍵合設(shè)備聯(lián)動(dòng)功能，參數(shù)異常時(shí)立即觸發(fā)離子風(fēng)扇調(diào)節(jié)，使引線鍵合不良率下降 48%。已在長電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 **。中源綠凈為 35 + 化妝品廠做環(huán)境監(jiān)測，微生物控制嚴(yán)，產(chǎn)品投訴率降 20%！深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜

中源綠凈為光學(xué)鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對鏡片鍍膜的 10 級潔凈區(qū)，部署了超高精度監(jiān)測終端，可檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)（LIBS）檢測氣體純度，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學(xué)、舜宇光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用，滿足 ISO 10110 光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.9%。深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，助力 30 + 企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)，符合環(huán)保要求！

中源綠凈在光伏硅片清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 水質(zhì)雙維度方案。應(yīng)用場景：光伏硅片清洗潔凈車間。針對 1000 級清洗區(qū)，配置防塵型監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度（檢測下限 0.001mg/m?）、清洗用水微粒（0.5μm 粒徑，10 粒 / L 以下）、溫度（20~25℃）及濕度（45%~55% RH）。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù)，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接清洗機(jī) PLC，水質(zhì)超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切換過濾單元，使硅片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在隆基綠能、晶科能源應(yīng)用，符合 IEC 61215 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.85%。

中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 **標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。中源綠凈為 75 + 禽蛋養(yǎng)殖場做環(huán)境監(jiān)測，蛋殼破損率降 8%，經(jīng)濟(jì)效益增！

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時(shí)自動(dòng)優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 **。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，為 50 + 企業(yè)提供遠(yuǎn)程監(jiān)測服務(wù)，打破地域限制！深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜

中源綠凈為 35 + 檔案館做環(huán)境監(jiān)測，紙張保存壽命延長 5 年，資料更**！深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜

中源綠凈為精密軸承研磨潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了粉塵與振動(dòng)的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：精密軸承研磨加工潔凈車間。針對 1000 級研磨區(qū)，部署耐粉塵監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 1μm 粉塵濃度（采樣流量 50L/min）、研磨設(shè)備振動(dòng)（頻率 1~500Hz，精度 ±0.001mm/s）、溫度（20~28℃）及濕度。采用激光測振技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級振動(dòng)。通過振動(dòng) - 粉塵關(guān)聯(lián)分析，提前預(yù)警研磨燒傷風(fēng)險(xiǎn)，使軸承圓度精度（≤0.5μm）達(dá)標(biāo)率提升 40%。已在 SKF、NSK 應(yīng)用，符合 ISO 12100 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.88%。深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器品牌排行榜