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激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器；
例如英國雷尼紹MLl0激光干涉儀，是根據(jù)光學(xué)千涉基本原理設(shè)計磊成酌。從MLl0激光器射出的激光束有單一頻率，其標(biāo)稱波長雋0．633pLIn，且其長期波長穩(wěn)定健(真空狀態(tài))要高0．1ppm。當(dāng)此光束抵偏振分光鏡時，會被分為兩道光束一一道反射光糯一道透射光。這兩道光射向其反光鏡，然后透過分光鏡反射圈去，在激光頭內(nèi)的探測器形成一道干涉光束。若光程差沒有任俺變訖，探測器長性秘楣潢性于涉的兩極找到穩(wěn)定的信號。若光程差確實(shí)有變化，探測器會在每一次光程改變時，長性和相消性干涉的弼極找到變動的信號。這些變化(援格)會被計算并用來測量兩個光程聞的差異變化。測量的光程就是柵格數(shù)乘以光束大約一半的波長。